Kỹ thuật chân không và công nghệ bề mặt
Giới thiệu về kĩ thuật chân không, hệ chân không và tính toán thiết kế hệ chân không cùng công nghệ chế tạo màng mỏng quang học và lớp phủ bề mặt. Phương pháp đo và kiểm tra các thông số kỹ thuật của lớp phủ cứng